范围 本标准规定了半导体用正胶显影液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于半导体用正胶显影液,其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 缩略语 下列缩略语适用于本文件。 PFA:四氟...
本标准规定了半导体用正胶显影液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于半导体用正胶显影液,其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 缩略语 下列缩略语适用于本文件。 PFA:四氟乙烯—...