半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器doi:GB/T 42709.7-2023工业和信息化部(电子)刘若冰李博崔波梁彦青张威陈得民杨清瑞
《GB/T 42709.7-2023 半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器》本文件界定了用于射频控制和选择的MEMS体声波谐振器、滤波器和双工器的术语和定义,给出了基本额定值和特性,描述了测试方法,用于评估和确定其性能。本文件规定了
5.1通则本章规定用于直流到微波频带的射频MEMS开关电特性的测试方法。射频MEMS开关的测试程序见附录F。按照IEC60747-1:2006的第8章。7GB/T42709.5—2023/IEC620测试直流驱动电压和射频特性的电路图如图2所示。标引序号说明:被测器件射频MEMS开关V连接被测器件的直流电压表;A连接被测器件的直流电流表:W测试被测器件...
IEC 62047的这一部分描述了术语@定义@符号@测试方法,可用于评估和确定RF MEMS开关的基本额定值和特性参数。本标准化中的陈述也适用于具有各种结构的 RF(射频)MEMS(微机电系统)开关@触点(直流触点和电容触点)@配置(串联和并联)@开关网络(SPST@ SPDT@ DPDT@ 等)@ 以及静电@ 电热@ 电磁@ 压电@ 等驱动机制。
IEC 62047的这一部分描述了术语@定义@符号@测试方法,可用于评估和确定RF MEMS开关的基本额定值和特性参数。本标准化中的陈述也适用于具有各种结构的 RF(射频)MEMS(微机电系统)开关@触点(直流触点和电容触点)@配置(串联和并联)@开关网络(SPST@ SPDT@ DPDT@ 等)@ 以及静电@ 电热@ 电磁@ 压电@ 等驱动机制。
内容提示: 中华人民共和国国家标准 GB/T 42709.21—XXXX/IEC 62047-21:2014 半导体器件 微电子机械器件 第 21 部分:MEMS 薄膜材料泊松比测试方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014,IDT) (...
1. 半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关 GB/T 42709.5-2023 综合基础 2023-09-01实施点击下载 标准时效码 中闻武汉标时码 版权所有: 北京市中闻(武汉)律师事务所 联系电话:15072360167 鄂ICP备17010825号-1 鄂公网安备 42018502003253号
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1 MEMS 行业整体情况 1.1 什么是 MEMS MEMS 全称 Micro ElectromechanicalSystem,即微机电系统,是集微传感器微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统,是一个独立的智能系统,可大批量生产,其系统尺寸在几毫米乃至更小,其内部结构一般在微米甚...
中文标准名称:半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC 62047-5-2011).德文版本 EN 62047-5-2011 英文标准名称:Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011 ...