《化学气相沉积——从烃类气体到固体碳》是2007年科学出版社出版的图书,作者是张伟刚。内容简介 化学气相沉积是利用化工原理制备表面工程材料和复合材料的通用技术。本书论述了烃类气体热解与固体碳材料化学气相沉积等化工过程,力图运用化学反应工程的原理和方法,阐明热解化学、气体扩散和热效应等对沉积过程的影响、固体...
《化学气相沉积 : 从烃类气体到固体碳》是2007年科学出版社出版的图书,作者是张伟刚。内容简介 本书论述了烃类气体热解与固体碳材料化学气相沉积等化工过程,力图运用化学反应工程的原理和方法,阐明热解化学、气体扩散和热效应等对沉积过程的影响、固体碳材料多尺度结构的生成机理与控制、碳材料微观结构与性能的内在...
化学气相沉积 从烃类气体到固体碳(张伟刚著)思维导图 {"code":"InvalidRange","message":"Therequestedrangecannotbesatisfied.","requestId":"0af5e1ee-6783-4822-983d-0f0191e50581"}
本书运用多相化学反应工程原理,通过分析各种烃类气体在热解过程中发生的主要基元化学反应(第一章),对化学气相沉积和化学气相渗透技术的动力学过程和反应器设计进行系统论述(第二章和第三章),详细分析了在不同沉积实验条件下生成的固体碳的微观结构,极其相关的多尺度表征技术和分类方法(第四章),进一步论述炭材料微观结...
化学气相沉积——从烃类气体到固体碳 作者:张伟刚著出版社:科学出版社出版时间:2007年08月 手机专享价 ¥ 当当价降价通知 ¥40.50 定价 ¥48.00 配送至 北京市东城区 运费6元,满49元包邮 服务 由“当当”发货,并提供售后服务。 当当自营 商品详情...
当代杰出青年科学文库《化学气相沉积:从烃类气体到固体碳》出版 摘要:新型炭材料
所谓化学气相沉积,就是利用气态物质在固体表面上进行化学反应,生成固态沉积物的过程。CVD 技术可以生长高质量的单晶薄膜,能够获得所需的掺杂类型和外延厚度,易于实现大批量生产,因而在工业上得到了广泛的应用。在工业上,利用 CVD 制备的外延片常有一个或多个埋层,可以用扩散或离子注入的方式控制器件结构和掺杂分布;...
碳源:目前生长石墨烯的碳源主要是烃类气体,如甲烷(CH4)、乙烯(C2H4)、乙炔(C2H2)等。最近,也有报道使用固体碳源SiC生长石墨烯[25]。选择碳源需要考虑的因素主要有烃类气体的分解温度、分解速度和分解产物等。碳源的选择在很大程度上决定了生长温度,采用等离子体辅助等方法也可...
这些理论主要有C2机理,单原子碳理论,乙炔机理,表面分解机理等18。事实上,影响沉积机理的还有反应温度、烃类物质的浓度、基体的几何结构、反应器内气体与基体的滞留时间等因素, 因此沉积机 理相当复杂。 由于沉积机理的不同, 形成的热解炭的微观结 构也相应而异。J 1L 1K aae 19 研究了热解炭结构 ( 晶 体取向...