本文描述了针对化学放大胶的曝光及显影效应,并且通过Matlab进行仿真实验.光刻模型包括光学成像模型以及光化学模型,与成像模型相比,光化学模型尚不够成熟,由于其复杂性,对光刻工程师来说难以理解,通常使用简单的单阈值模型进行模拟[1],因此,本文通过描述光刻胶曝光显影过程中发生的物理和化学变化,介绍了更加具体和合理的...