半导体行业系列专题(四)光刻机:现代工业集大成者,亟待国产破局 光刻机是半导体制造的核心设备,直接决定了芯片的工艺水平。光刻机产业呈现强垄断特性,国产突破是唯一选择。ASML、Nikon、Canon是全球光刻机产业三大龙头,占据绝大部分市场份额。国内来看,上海微电子是领航者,在“02专项”支持以及产业链公司的共同努力下,...