光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究 汪杰君1，王剑峰1，张志钢2 （1.桂林电子科技大学，广西 桂林 541000；2.上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海 200120）摘 要：为了有效地降低GB（Gain Balance）解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响，提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案...