问答题 例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少?相关知识点: 试题来源: 解析 正确答案:第一步:用碳加热硅石来制备冶金级硅 第二步:通过化学反应将冶金级硅提纯以生成三氯硅烷 第三步:利用西门子方法,通过三氯硅烷和氢气反应来生产半导体级硅 纯度能达到99.99999999%...
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1.例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少? 加热至2100摄氏度有如下化学反应 SiO2 (s) + 2SiC (s) = Si (l) +SiO(g)+ 2CO (g得到的硅中仍有大约2%的杂质,称为冶金级硅. 进一步提纯化学反应式为:Si (s)+ 3HCl (g) = SiHCl3 (g) + H2 (g) SiHCl3 (g) + 2H2(g)...
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