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摘要 本发明涉及光刻胶技术领域,更具体的说是涉及一种水性显影可低温固化的负性聚酰亚胺光刻胶,该负性聚酰亚胺光刻胶,包含:主体树脂、产酸剂、产酸剂以及溶剂,所述主体树脂、产酸剂、产酸剂以及溶剂的质量配比为:10‑80:1‑20:10‑30:10‑90。本发明的负性聚酰亚胺光刻胶可在200℃完全固化,具有优良的...
本文将详细介绍一种低温固化厚膜光刻胶的制备方法与流程。 一、原料准备 首先,我们需要选择适合低温固化的光引发剂和树脂。光引发剂应具有较高的量子产率和低的反应活化能,以确保在低温下仍能有效引发聚合反应。树脂则需具备良好的成膜性,以形成均匀且厚度足够的光刻胶层。 二、配制光刻胶溶液 将选定的树脂溶解...
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1.一种水性显影可低温固化的负性聚酰亚胺光刻胶,其特征在于,包含:主体树脂、产酸剂、产酸剂以及溶剂,所述主体树脂、产酸剂、产酸剂以及溶剂的质量配比为:10-80:1-20:10-30:10-90。 2.根据权利要求1所述的一种水性显影可低温固化的负性聚酰亚胺光刻胶,其特征在于,所述的主体树脂为聚酰亚胺树脂,分子量为100...
摘要 本发明公开了一种光刻胶低温固化厚膜的制备方法。包括:1)在晶圆上涂覆光敏性树脂组合物胶液,匀胶,前烘,得到厚膜;2)曝光;3)显影;4)固化,得到含第一层固化膜的晶圆;5)贴覆干膜:在上述晶圆的第一层固化膜上贴覆干膜作为后续继续匀胶的支撑膜;6)在所述干膜上继续重复步骤1)‑4)匀胶、曝光、显影及...
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1、本发明的目的在于提供可低温固化的聚酰亚胺树脂、光刻胶组合物及其制备方法。传统的光刻胶是以聚酰胺酸或聚酰胺酸酯作为成膜的主体树脂,在亚胺化的过程中需要320-380℃烘烤数小时。本发明在树脂合成过程中,在140-180℃条件下对树脂进行亚胺化。本发明实施例提供的聚酰亚胺树脂能在较低的温度下实现固化,且固化后...