二次电子流用IS表示。二次电子常用作扫描电子显微镜的成像信号。二次电子的特征: 1) 二次电子能量较低。2) 对样品表面化状态十分敏感,能有效地反映样品表面的形貌3)产额与原子序数间没有明显关系,不能进行成分分析。4)来自表层5~100nm深度范围3.背散射电子发射系数η随原子序数增加而增大,变化显著,背散射电子...