中国科学院电子学研究所科研成果电子所在微波成像雷达及其应用技术、微波器件与技术、高功率气体激光技术、微传感技术与系统等领域,承担并圆满完成了一系列国家重大科研项目 据2015年10月研究所官网显示,中国科学院实施知识创新工程以来,电子所获得多项重大科技成果,24项分别获得国家及省部级奖励,其中国家科学技术进步一等奖...
近日,微电子所刘新宇研究员团队以PEALD沉积SiN作为栅介质,成功研制出高性能毫米波MIS-HEMT,并通过远程等离子体预处理(RPP)技术,在EC-ET> 0.4 eV条件下,界面态密度达到了6×1011cm-2eV-1~2.1×1012cm-2eV-1,实现了低界面态密度,减小了器件的关态泄漏电流,保证了器件具有良好的阈值电压稳定性。与常规HEMT器件...
该阈值调控技术还适用于Tsus进一步微缩的GAA器件,降低GAA晶体管的寄生电阻和电容影响,提高器件驱动性能与电路工作频率。 基于该研究成果的文章“Record 7(N)+7(P) Multiple VTs Demonstration on GAA Si Nanosheet n/pFETs using WFM-Less Direct Interfacial La/Al-Dipole Technique”入选2022 IEDM先进逻辑技术Sessio...
近日,中国科学院大连化学物理研究所吴忠帅研究员团队,与中国科学院深圳先进技术研究院、中国科学院金属研究所和深圳理工大学(筹)成会明院士,北京大学电子学院康宁副教授合作,在二维过渡金属碲化物材料的宏量制备方向取得新进展,为过渡金属碲化物二维材 - 中国科学院
薜其坤,山东蒙阴人,中国科学院院士,清华大学教授。他所带领的科研团队经过4年的辛苦耕耘,在实验中首次发现了量子反常霍尔效应。这一研究成果将推动新一代低能耗晶体管和电子学器件的发展,加速推进信息技术革命进程,被称之为“诺贝尔奖级”的科研成果。这说明( )...
薛其坤,山东蒙阴人,中国科学院院士,清华大学教授。他所带领的科研团队经过4年的辛苦耕耘,在实验中首次发现了量子反常霍尔效应。这一研究成果将推动新一代低能耗晶体管和电子学器件的发展,加速推进信息技术革命进程,被称之为“诺贝尔奖级”的科研成果。这说明 A.科学实验是人类最基本的实践活动 B.科研成功源于科学家...
1 薛其坤,山东蒙阴人,中国科学院院士,清华大学教授。他所带领的科研团队经过4年的辛苦耕耘,在实验中首次发现了量子反常霍尔效应。这一研究成果将推动新一代低能耗晶体管和电子学器件的发展,加速推进信息技术革命进程,被称之为“诺贝尔奖级”的科研成果。这说明A.科学实验是人类最基本的实践活动B.科研成功源于科学家...
近日,微电子所集成电路先导工艺研发中心在极紫外光刻基板缺陷补偿方面取得新进展。 与采用波长193nm的深紫外(DUV)光刻使用的掩模不同,极紫外(EUV)光刻的掩模采用反射式设计,其结构由大约由40层Mo和Si组成的多层膜构成。在浸没式光刻技术的技术节点上,基板制造和掩模制造已足够成熟,掩模缺陷的密度和尺寸都在可接受的...
近日,中国科学院北京纳米能源与系统研究所孙其君研究员与研究团队在基于二硫化钼的摩擦离子电子效应晶体管中取得新进展,相关研究成果发表在Advanced Materials上(https://doi.org/10.1002/adma.201806905) 近来,摩擦纳米发电机(TENGs)在诸如将机械能充分转化为电能、自驱动传感器、高灵敏度质谱分析、大气压力条件下机械运动...
近日,在中科院北京纳米能源与系统研究所、佐治亚理工学院王中林院士和兰州大学秦勇教授的指导下,王龙飞博士、刘书海博士和冯晓龙等研究成员在具有中心对称结构的半导体(Si, TiO2etc.)中发现了一种新的电子学调控机制,挠曲电电子学(flexoelectronics/flexotronics),该机制不受限于半导体材料的晶体结构,几乎适用于任何类型的...