国家标准GB_电子工业用气体三氟化硼.pdf,中华人民共和 国国家标准 GB/T 14603一93 电子工业用气体 三氟化硼 Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride 主翻内容与适用范围 本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。
【国家标准】GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼上传人:私*** IP属地:北京 文档编号:880659 上传时间:2016-10-30 格式:PDF 页数:12 大小:649.60KB下载提示(请认真阅读) 1.请仔细阅读文档,确保文档完整性,对于不预览、不比对内容而直接下载带来的问题本站不予受理。 2.下载的文档,不会出现我们的网址...
被引量: 7发表: 2010年 ECR CVD制备立方氮化硼薄膜及性能研究 近几年,CVD技术中引入三氟化硼(BF_3)气体,制备出微米级厚度的高质量c-BN薄膜,并能实现低衬底偏压的薄膜沉积。实验采用ECR CVD系统,引入BF_3气体,研究c-BN... 郜志华 - 《北京工业大学》 被引量: 1发表: 2007年 ...
电子工业用气体 三氟化硼 标准编号:GB/T 14603-2009标准状态:现行 标准价格:31.0元客户评分: 本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到! 如何购买?问客服 标准简介 本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
《GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼》本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氟硼酸钠为原料,采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 状态:作废
中文名称:电子工业用气体 三氟化硼 英文名称:Gases for electronic industry-Boron trifluoride 中国标准分类(CCS):G86 国际标准分类(ICS):71.100.20 发布日期:2009-10-30 实施日期:2010-05-01 页数:12 标准状态:现行 点击数:141 更新日期:2021-08-04 ...
【国家标准】GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼上传人:私*** IP属地:北京 文档编号:880659 上传时间:2016-10-30 格式:PDF 页数:12 大小:649.60KB下载提示(请认真阅读) 1.请仔细阅读文档,确保文档完整性,对于不预览、不比对内容而直接下载带来的问题本站不予受理。 2.下载的文档,不会出现我们的网址...