本文分析了双层SiNx-SiNx减反射膜和带有氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响;模拟结果表明;增加了氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜多晶硅太阳电池电学输出特性优于双层SiNx-SiNx减反射膜多晶硅太阳电池;实验分析表明;三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜反射率略高于双层SiNx-SiNx减反射膜反射率;...