管壳双侧开口,开口处设有防水防油的透气膜,用以保护传感芯片内部元件.当有气体流过传感器表面,经由MEMS流量传感元件感知,CMOS电路处理元件向外输出电信号,通过电信号反应气体流量变化,实现对气体流量的精准检测;本发明的集成热式流量传感器相比于现有的流量传感器结构扁平,体积小,有效降低设计制备成本,提高传感器使用寿命...