液中パーティクルカウンタの主な使用分野 液中パーティクルカウンタは、半導体材 のスラリー中の粗大粒子の管理や、フォ 料用化学薬品、SOG(spin on glass)な トレジスト溶液の粒子管理、表面付着粒 どの液体塗布材料中に含まれる粒子管 子の管理など生産ラインや受け入れ検査 理や、純水、洗浄用...