ガス用パーティクルカウンタKS-93は、粒子検出部にフローセルを用いた 流路部を採用し、リーク量を1×10-10 Pa・m3/s以下(真空フード法)を実 現し、万一の事故に備え、筐体も1×10-6 Pa・m3/s以下(スニファー法)の 密閉構造を有しています。流路部はSUS316管と石英製フローセルで構成...