Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS）是一种基于质谱的表面分析技术，二次离子质谱原理是基于一次离子与样品表面互相作用现象（基本原理如图1所示）。带有几千电子伏特能量的一次离子轰击样品表面，在轰击的区域引发一系列物理及化学过程，包括一次离子散射及表面原子、原子团、正负离子的溅射和表面化学反应等，产生二...
二次离子质谱法是指当初级离子束（Ar+，O2+，N2+, O-，F-，N -或Cs+等） 轰击固体试样表面时，它可以从表面溅射出各种类型的二次离子，利用离子在电场，磁场或自由空间中的运动规律，通过质量分析器，可以使不同质荷比的离子分开，经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法。二次离子质谱法...
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)是一种用于研究固体表面的技术,通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面,并分析喷出的二次离子(如下图)。通过测量二次离子的质量来识别二次离子,从而确定表面的元素、同位素和/或分子组成。 SIMS仪器由以下基本元素...
01 二次离子质谱(SIMS)的基本概念 二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)是一种用于研究固体表面的技术,通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面,并分析喷出的二次离子(如下图)。通过测量二次离子的质量来识别二次离子,从而确定表面的元素、同位素和/或分子组成。 SIMS仪器由以下基本元素组成: ...
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)是一种用于研究固体表面的技术,通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面,并分析喷出的二次离子(如下图)。通过测量二次离子的质量来识别二次离子,从而确定表面的元素、同位素和/或分子组成。 SIMS仪器由以下基本元素组成: ...
二次离子质谱( Secondary Ion Mass Spectrometry ,SIMS)是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的原子或原子团吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,这些带电粒子经过质量分析器后就可以得到关于样品表面信息的图谱。 基本原理 Secondary-ion...
二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。中
二次离子质谱( Secondary-ion mass spectrometry,SIMS)是一种固体原位微区分析技术,具有高分辨率、高精度、高灵敏等特征,广泛应用于地球化学、天体化学、半导体工业、生物等研究中。本文主要阐明了SIMS 技术的原理、仪器类型,简要介绍了其主要应用,分析了其特点。二次离子质谱仪(Secondary-ion mass spectrometry,SIMS)也...